シリコンマイクロ／ナノワイヤ：ニューロン・エレクトロニクス・インタフェースデバイスへの応用

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20pm1-C2

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Silicon-micro/nanowire: an approach to neuron-electronics interface devices

著者名: 河野 剛士(豊橋技術科学大学)

キーワード: シリコンマイクロワイヤ,シリコンナノワイヤ,神経電極,vapor-liquid-solid (VLS)成長

要約(日本語): 脳／生体組織内の細胞計測を目指し、3次元的に微細プローブが形成できるシリコンvapor-liquid-solid（VLS）結晶成長を基盤技術としたマイクロ／ナノスケールの神経電極を提案している。　このような電極は、生体組織内における細胞単位での電気記録、電気刺激や薬剤投与などが可能となり、脳・神経科学、医療分野での貢献が期待できる。　脳／神経と外部機器を接続する“ブレイン・マシン・インタフェース（BMI）”においては、高空間分解能・低侵襲な電極技術として提案できる。　今回は、現在進めているシリコンマイクロ／ナノワイヤの細胞外／内計測、薬理搬送応用について紹介する。

要約(英語): As a powerful application of micro/nanoscale silicon-wires, we reports neuroprobe device, which potentially enables interfacing between neurons and electronics. We propose the neuroprobe fabricated by vapor-liquid-solid growth of silicon, offering great advantages of low-invasive and high-density probe arrays. This paper describes our recent progresses on the extracellular microprobe, nanoinjector, and intracellular nanoprobe, using micro/nanoscale silicon-wires.

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