窒化シリコン薄膜窓を有する電子顕微鏡用マイクロチャンバーの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20pm3-PS001

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Development of microchamber with SiN thin-film window for SEM observation

著者名: 谷 一樹(立命館大学),安藤 妙子(立命館大学)

キーワード: SEM,窒化シリコン薄膜,マイクロチャンバー

要約(日本語): 電子顕微鏡の試料制限をなくし，生物試料などの含水試料や熱・化学変化を観察するためのマイクロチャンバーを開発した。本研究では，SiN薄膜窓を有する隔壁構造と，試料を設置し温度制御を行うヒーター付きチャンバーを作製した。また，作製したチャンバーに試料を入れ膜厚変化に伴う電子線透過性の観察実験や薄膜－試料間の距離の変化による観察画像の違いを検証し，温度を変化させて試料の観察を行った。

要約(英語): We fabricate a microchamber with SiN thin-film window that transmits an electron beam by using micromachining for SEM observation in an atmospheric environment without sample treatment. In addition, the temperature control in the chamber are examined by integrating a micro-heater.

PDFファイルサイズ: 963 Kバイト