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PDMSステンシルマスクを用いたテフロン製マイクロ流体デバイスの作製

PDMSステンシルマスクを用いたテフロン製マイクロ流体デバイスの作製

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 20pm3-PS011

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Fabrication of Teflon Microfluidic Device Using PDMS Stencil Mask

著者名: 島田 光基(千葉大学),鍋澤 浩文(富山県工業技術センター),人母岳(立山マシン),安部 隆(新潟大学),関 実(千葉大学)

キーワード: ステンシルマスク,反応性イオンエッチング,テフロン,微小液滴

PDFファイルサイズ: 1,702 Kバイト

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