低消費電力デバイスのための静電駆動型シリコンナノ電気機械スイッチ
低消費電力デバイスのための静電駆動型シリコンナノ電気機械スイッチ
カテゴリ: 部門大会
論文No: 20pm3-PS037
グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集
発行日: 2014/10/14
タイトル(英語): Electro Statically Driven Silicon Nano Electro Mechanical Switch For Power Consumption Reduction Device
著者名: 飯塚 啓(東北大学),小野 崇人(東北大学)
キーワード: 電気機械スイッチ,静電駆動,ナノ構造
要約(日本語): マイクロファブリケーションを用いてシリコンナノ電気機械スイッチ(NEMスイッチ)を作製し,スイッチング特性評価を行った.NEMスイッチは独立した3つの電極(ソース,ゲート,ドレイン)から構成されている.ソースは静電力により駆動し,ゲートとのプルイン現象によりドレインへ接触する.弾性力の低い機械構造と電極間の挟ギャップにより,0.8-2.5Vの低電圧駆動を達成した.
要約(英語): Silicon nanoelectromechanical (NEM) switches are fabricated using microfabrication technologies, and their switching properties are evaluated. The NEM switch consists of three isolated electrodes (source, gate, drain). The source electrode can be actuated by electrostatic force, and contacts with the gate electrode by pull-in phenomenon. A low switching voltages of 0.8-2.5 V can be achieved because of the flexible mechanical structure and the narrow electrode gaps of electrostatic actuators.
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