ニッケルRF-MEMSスイッチの過渡特性評価
ニッケルRF-MEMSスイッチの過渡特性評価
カテゴリ: 部門大会
論文No: 20pm3-PS039
グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集
発行日: 2014/10/14
タイトル(英語): Evaluation on Nickel RF-MEMS transit characteristic
著者名: 東中 尚樹(立命館大学),井澤 駿(立命館大学),谷川 紘(立命館大学),肥後 矢吉(立命館大学),鈴木 健一郎(立命館大学)
キーワード: MEMSスイッチ,スイッチ特性,チャタリング現象,スイッチング時間,プルイン
要約(日本語): MEMSスイッチの実用化への課題とされている長期信頼性に関連して、機械スイッチ固有の過渡特性を評価した。評価にはデジタルオシロスコープのメモリ機能を用いた。MEMSスイッチを大気中と真空(5 Pa)とで動作させ特性の比較を行った。また、スイッチを駆動するパルス波の波形を調整することにより、スイッチング時間とチャタリング現象について評価を行った。
要約(英語): In order to improve reliability in MEMS switches, transient characteristics in a fabricated MEMS switch have been evaluated. The used MEMS switches have a Ni movable plate. When applying a driving voltage to the plate, the switches mechanically contact a waveguide and turn off a circuit. By a memory function in a digital oscilloscope, switching time and chattering phenomena as functions of driving pulse wave forms have been measured.
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