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構造物モニタリング向けMEMS加速度センサの開発

構造物モニタリング向けMEMS加速度センサの開発

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 20pm3-PS041

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Development of MEMS acceleration sensor for structural monitoring

著者名: 森原 大輔(オムロン),多田羅 佳孝(オムロン),中河 佑将(オムロン),細谷 克己(オムロン)

キーワード: 構造物モニタリング,加速度センサ,ノイズ

要約(日本語): 近年、国内における社会インフラの老朽化に対して関心が高まる中、構造物モニタリングシステムの活用が注目されている。その1つとして、構造物の固有振動数の変化から劣化を検知する手法がある。多くの構造物の固有振動数は主に0.1~10Hzであり、振動数が小さくなるほど信号も微弱になることから、低周波数帯域に対する高分解能なセンシングおよび、平坦な周波数特性が求められる。我々はピエゾ式MEMS加速度センサを開発し、実使用範囲の各周波数におけるノイズ密度を1e-5G/√Hz以下に抑え、周波数特性の平坦化を実現した。

要約(英語): The application for structural health monitoring catches the attention. There are some methods for checking the condition. For example, we can detect the sign of deterioration by changing natural frequency. Most of structures have 0.1-10Hz natural frequency. We developed MEMS acceleration sensor which has high resolution and flat frequency characteristic. In this paper, We report the improvement of low frequency noise and flattering frequency characteristic.

PDFファイルサイズ: 1,595 Kバイト

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