SiOBへの適応を目指した光学自動アライメント技術の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20pm3-PS005

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Development of Automatic Optical Alignment Technology Aimed at SiOB Applications

著者名: 山本 善哉(香川大学),篠崎 亮輔(香川大学),朝日 一平(香川大学／四国総合研究所),下川 房男(香川大学),二宮 英樹(四国総合研究所),高尾 英邦(香川大学)

キーワード: SiOB,MEMS,光学自動アライメント

要約(日本語): SiOBはSi基板上に設けられた溝にファイバ，ミラー等を設置することで光学調整の簡略化できる。しかし，微小光学部品上に位置決め溝を設けるだけでは，面内方向の位置決めは行えるが，高さ方向の自由度が低いため，微小光学部品同士の高さ位置が合わず，光の減衰の要因となる。本研究の目的は，SiOBの適応を目指した光学位置調整デバイスの実現である。今回は光学位置調整デバイスの製作とアライメント機構による実装精度評価の結果について報告する。

要約(英語): Silicon optical bench (SiOB) technology is a promising approach to realize precise micro optical system for various applications. In this study, we fabricated and evaluated the optical alignment device which aimed at SiOB applications with a high degree of freedom in the height direction.

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