PZT薄膜の残留応力を利用した超音波センサ高感度化のためのダイアフラム撓み制御
PZT薄膜の残留応力を利用した超音波センサ高感度化のためのダイアフラム撓み制御
カテゴリ: 部門大会
論文No: 20pm3-PS053
グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集
発行日: 2014/10/14
タイトル(英語): Buckled diaphragm structures for high sensitivity of ultrasonic microsensors through intrinsic stress control of PZT films
著者名: 山下 馨(京都工芸繊維大学),田中 光(京都工芸繊維大学),野田 実(京都工芸繊維大学)
キーワード: 超音波センサ,感度,ダイアフラム,撓み,残留応力
要約(日本語): 圧電ダイアフラム型超音波センサにおいて,圧電体PZT薄膜の残留応力を利用してダイアフラムの撓み挙動を制御することにより,簡便なプロセスで高感度なセンサ構造を作製することを可能にした。PZTキャパシタと弾性体の積層からなる圧電ユニモルフ構造のダイアフラム形センサでは,ダイアフラムが圧電層側へ静的に撓んだ構造において感度が高くなる。自動的に高感度側へ座屈させるプロセスを開発している。この座屈方向制御にはPZT層が持つ引張の残留応力を利用する
要約(英語): Highly sensitive structures of ultrasonic microsensors on piezoelectric diaphragms have been achieved through a simplified fabrication process using intrinsic stress of sol-gel derived lead-zirconate-titanate (PZT) films. Lowered intrinsic stress of the PZT films has enabled the process to yield the buckled diaphragms for the high-sensitive structure, and largely buckled diaphragms have been demonstrated.
PDFファイルサイズ: 2,094 Kバイト
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