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熱線式マイクロブリッジMEMSセンサのガス検出特性

熱線式マイクロブリッジMEMSセンサのガス検出特性

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 20pm3-PS057

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Gas sensing characteristics of a hot-wire MEMS sensor

著者名: 藤井 建多(大阪工業大学),村岡 茂信(大阪工業大学),大松 繁(大阪工業大学),矢野 満明(大阪工業大学)

キーワード: マイクロブリッジ型MEMSガスセンサ,流速計測,熱伝導率計測,定常細線加熱法

要約(日本語): 熱酸化SiO2膜で形成したマイクロブリッジ上に,熱細線とそれを挟んだ2本の熱電対を設けたMEMSガスセンサをSi基板上に形成した。熱容量が小さいため,マイクロブリッジの温度上昇は数10ms以内に定常状態に達した。流れがあるガス中では,上流側と下流側の熱電対の出力差はガスの流速に比例していた。静止ガス中では,熱伝導率が公知のガスで予め較正しておけば,熱伝導率を誤差1.5%以内で測定できた。

要約(英語): A MEMS gas sensor consisted of a hot wire with two adjacent thermocouples on an oxidized SiO2 microbridge was fabricated. This sensor worked as a gas velocity sensor, and its small heat capacity enabled us to apply a steady-state analysis to estimate the gas thermal conductivity within an error range of less than 1.5%.

PDFファイルサイズ: 2,616 Kバイト

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