近接覚・触覚マルチモーダルセンサの近接検知原理の解析
近接覚・触覚マルチモーダルセンサの近接検知原理の解析
カテゴリ: 部門大会
論文No: 20pm3-PS059
グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集
発行日: 2014/10/14
タイトル(英語): Analysis of Proximity Sensing for the Multimodal Sensor of Proximity and Touch Force
著者名: 野沢 瑛斗(新潟大学),安部 隆(新潟大学),奥山 雅則(大阪大学),野間 春生(立命館大学),東 輝明(新機能素子研究所),寒川 雅之(新潟大学)
キーワード: 触覚センサ,近接覚センサ,マルチモーダルセンサ
要約(日本語): 本研究ではSiを用いたMEMS近接覚・触覚センサについて、光と電界分布がインピーダンスに与える影響を検討した。インピーダンスは照度の増加とともに減少し、反射光による近接の計測が可能であることを示した。さらに、近接距離が10 mm程度でも電界分布の変化によってもインピーダンスが変化し、極近傍では光を用いない計測も可能であることを示した。これらを組み合わせることで、より精度の高い近接検知ができると考えられる。
要約(英語): In this work, dependence of impedance of MEMS proximity and tactile sensor using Si on light and electric field has been investigated. The impedance decreases with increase of illuminance so that the sensor can detect reflected light from the proximate object. Moreover, the impedance changes at proximity distance of 10 mm without light because of change of electric field distribution.
PDFファイルサイズ: 1,197 Kバイト
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