窒化アルミニウム圧電薄膜を用いた表面弾性波ひずみセンサの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20pm3-PS061

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Aluminum nitride based surface acoustic wave strain sensors

著者名: 包　忠青(東北大学),原 基揚(東北大学),桑野 博喜(東北大学)

キーワード: ひずみセンサ,表面弾性波,窒化アルミニウム薄膜

要約(日本語): 我々は，構造物ヘルスモニタリングに用いるAlN圧電薄膜を用いたSAW共振子型ひずみセンサの開発を行った。本ひずみセンサはAu/Cr/AlN/Pt/Ti/SiO2の層構造を有し，Si基板上に作成される。作製したセンサのQ値と電気機械結合係数k2は，それぞれ700と0.46%であった。また，本センサを引張試験に適用し，μオーダーの微小なひずみの検出に成功した

要約(英語): We developed a SAW sensor using an aluminum nitride film in order to monitor degradation or damage of huge infrastructures due to aging. The SAW strain sensor was fabricated on Si substrate, and consisted of AlN/Pt/Ti/SiO2 layered substrate and Au/Cr IDT on it. The sensors were applied to the tensile test, and can detect the strain with μ order.

PDFファイルサイズ: 1,618 Kバイト