慣性計測用MEMSジャイロセンサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20pm3-PS063

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): MEMS Gyroscope for Inertial Measurement Unit

著者名: 中下 修治(三菱プレシジョン),小林 健二(三菱プレシジョン),福田 智洋(三菱プレシジョン),徳永 隆志(三菱プレシジョン)

キーワード: ジャイロセンサ,タクティカルグレード,クワドラチャエラー,バイアス安定性

要約(日本語): 我々はタクティカルグレードの慣性計測用MEMSジャイロセンサの開発を行ってきた。ジャイロ特性とS/N向上のため、クワドラチャエラーと0deg雑音を低減させたMEMSジャイロセンサを作製した。その結果、フルスケール±1500deg/sで出力非線形性は±0.1%[F.S.]となり、バイアス安定性は0.26-1.13deg/h [1σ]とタクティカルグレードの目標性能を満足するMEMSジャイロセンサを実現した。

要約(英語): We have developed MEMS gyroscope for Inertial Measurement Unit with tactical grade. The functions to compensate quadrature error and decrease zero degree noise realized improvements in gyroscope characteristics and signal-to-noise ratio. The gyroscope shows tactical grade performance: wide range (± 1500 deg/s), good nonlinearity (± 0.1 %), and low bias instability (0.26-1.13 deg/h [1σ]).

PDFファイルサイズ: 1,557 Kバイト