フィルム積層エレクトレットセンサを用いたデュアルセンサの製作と特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20pm3-PS067

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Fabrication and evaluation of dual sensor using electret sensor with film lamination

著者名: 小野寺 将(埼玉大学),蔭山 健介(埼玉大学)

キーワード: エレクトレット,シリカ凝集体,デュロメータ,硬さ,デュアルセンサ

要約(日本語): シリカ凝集体エレクトレットを用いたフィルム積層エレクトレットセンサ(FilmECS)はフレキシブルで圧電素子より低音響インピーダンスである。そこで、FilmECSを2つ積層したデュアルセンサを製作し、軟質材料の接触圧力と硬さを測定するセンサとして利用可能か検討した。その結果、送受信波形のピーク電圧とスペクトル重心の周波数を用いて軟質材料の接触圧力と硬さを測定するセンサとしての利用可能性を示した。

要約(英語): The dual sensors were prepared by lamination of the two Electret condenser sensors with PFA film lamination using silica-agglomerates electret (FilmECS) elements for measurement of a contact pressure and a hardness of soft material. This report indicate that the dual sensor could be used for measurement of the contact pressure and the hardness of soft materials.

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