PZT薄膜キャパシタの自己組織化単分子膜を用いた樹脂基板転写手法

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21am2-G1

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Transfer methods of PZT thin capacitor to flexible polymer by Self-assembled monolayers

著者名: 水野 雄貴(東京大学),邊 益周(東京大学),金 範埈(東京大学),一木 正総(産業技術総合研究所)

キーワード: 自己組織化単分子膜,転写,薄膜キャパシタ,チタン酸ジルコン酸鉛,ポリジメチルシロキサン

要約(日本語): PZT薄膜キャパシタをシリコン基板上に有機物分解塗布法を用いて作製し,自己組織化単分子膜を用いたSAMトランスファー法を提案した。本研究では，SAMトランスファー法の特徴でもある基板，プロセスに合わせたSAMの選択をゾルゲル法の焼結過程の検討と共に，耐熱性評価を基に行い，SAMトランスファー法の適用範囲の拡大，確立から樹脂基板に内蔵された薄膜キャパシタの作製を目指す。

要約(英語): This paper describes the method that PZT thin capacitor, which is formed on a Si substrate, can be transferred to flexible polymer (PDMS) without additional chemical contamination. To embedded the capacitor structure in the polymer substrate by dry process, some kinds of self-assembled monolayer are used for adhesion or anti-adhesion layer between metal, polymer and substrate. As a result, the sample with thickness of 1 um is embedded in PDMS.

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