基準面構造を有する高感度MEMS硬さセンサによる柔軟材料の評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm1-B2

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Evaluation of Soft Materials Using a Highly Sensitive MEMS Hardness Sensor with Reference Plane Structure

著者名: 前田 祐作(香川大学),寺尾 京平(香川大学),鈴木 孝明(香川大学),下川 房男(香川大学),高尾 英邦(香川大学)

キーワード: 触覚センサ,硬さ,医療応用

要約(日本語): 本研究では，人体などの柔軟な対象物の硬さ検出を実現する高感度MEMS硬さセンサの提案を行った。柔軟な生体組織の硬さ検出は，物体の食込み量に着目した，基準面と接触子による検出原理を用いて行った。本デバイスの硬さ検出原理を用いることで，接触荷重への依存性の低い評価が可能である。実際に製作を行ったデバイスを用いて，物体の硬さ検出実験を行った。実験の結果， ショアA硬さで1HSから54HSの範囲において硬さ検出を達成した。

要約(英語): In this paper, a MEMS hardness sensor with detection abilities of human organs hardness is reported. The detection principles of hardness in flexible objects are realized with the reference plane structure on the sensor circuit. Completed the devices were evaluated, and shore A hardness was successfully measured in the range from 1 to 54 HS.

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