シーソー電極型３軸触覚センサチップのスイッチトキャパシタ回路による動作

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm1-B3

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): 3D Tactile Sensor with Quad Seesaw Electrode Measured by Switched Capacitor Circuit

著者名: 野々村 裕(豊田中央研究所),畑 良幸(豊田中央研究所),船橋 博文(豊田中央研究所),大村 義輝(豊田中央研究所),藤吉 基弘(豊田中央研究所),明石 照久(豊田中央研究所),中山 貴裕(トヨタ自動車),山口 宇唯(トヨタ自動車),山田 整(トヨタ自動車),福士 秀幸(東北大学),田中 秀治(東北大学),室山 真徳(東北大学),江刺 正喜(東北大学)

キーワード: 触覚センサ,3軸力センサ,スイッチトキャパシタ回路,シーソ電極,低温同時焼成セラミックス

要約(日本語): ロボット用途をめざし、３軸触覚センサを試作。スイッチトキャパシタ回路を用い評価した。センサチップはダイアフラムと4組のシーソ電極構造からなり、全軸差動方式で検知できる。Fx = 1.00V/101gf, Fy = 0.71V/101gf, Fz = 1.02V/101gfの良好な出力が得られた。本センサチップは汎用スイッチトキャパシタアナログICを用い、小型で高精度な３軸触覚計測を実現できる。

要約(英語): A triaxial capacitive tactile sensor with a quad seesaw electrode has been developed. The sensor characteristics were measured by a switched capacitor circuit. The proposed sensor detects forces with a complete differential detection by the quad seesaw electrode. The sensor chip size is as small as 3.8 x 3.8 x 0.7 mm3. The triaxial tactile sensor function was successfully demonstrated.

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