凹凸と摩擦力の相関を取得可能なMEMS横型触覚センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm1-B4

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Horizontal type MEMS tactile sensor to acquire the correlation between surface roughness and frictional force

著者名: 香西 亮吾(香川大学),寺尾 京平(香川大学),鈴木 孝明(香川大学),下川 房雄(香川大学),高尾 英邦(香川大学)

キーワード: 触覚センサ,ピエゾ抵抗素子,手触り感,微小凹凸,２軸検知

要約(日本語): 本研究では，シリコンウェハの回路形成面に平行に可動する新構造のMEMS横型触覚センサを提案する。この新構造の触覚センサは，高解像度で，測定対象物のμm単位の微細な凹凸に反応することが可能である。また，接触の圧力と，対象を撫でた際の摩擦力を独立した二つの回路で検出する設計となっている。製作した横型触覚センサで対象物を走査した評価実験では，垂直抗力と摩擦力方向の信号の変化に強い相関がみられた。

要約(英語): We propose a new sensing principle and structure of the horizontal type MEMS tactile sensor. It has a new configuration of tactile sensor that can react to micro roughness. In the evaluation experiment, signals outputs were obtained in vertical direction and horizontal direction of the contactor motion by the sweeping operation of the sensor chip.

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