MEMSとTEMを組み合わせた実験系による単接点Ptナノ摩擦のリアルタイム観察

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm2-A1

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Real-time observation of Pt nano friction using MEMS-in-TEM experimental setup

著者名: 佐藤 隆昭(東京大学),Jalabert Laurent(東京大学),高山 由貴(東京大学),藤田 博之(東京大学)

キーワード: MEMS,トライボロジー,透過型電子顕微鏡,その場観察,Pt

要約(日本語): 本研究では, 摩擦の素過程である単突起の摩擦を観察した. 具体的には, 摩擦力と垂直抗力をnNの精度で同時に計測できるMEMSを開発し, これとTEMを組み合わせることで接触部分の変位を計測しながら摩擦力と垂直抗力を計測した. 開発した実験系は接触箇所の形状の変化・接触部分の面積などを計測できるので, 従来の方法ではできなかった観察を行った.

要約(英語): The observation of single-asperity friction in real time is a significant step toward understanding the mechanisms of friction and lubrication. We have developed MEMS combined with TEM setup. The setup enabled us to observe the friction phenomena in real-time and to measure the friction force, normal force and frictional coefficient at the nanoscale.

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