圧電薄膜駆動型超音波振動子アニュラーアレイによる超音波ビーム形成

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm2-B4

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Ultrasonic beam formation using peizoelectric micromachined ultrasonic transducer annular array

著者名: 赤井 大輔(豊橋技術科学大学),西村 将人(豊橋技術科学大学),岡田 長也(本多電子),石田 誠(豊橋技術科学大学)

キーワード: ジルコン酸チタン酸鉛,アニュラーアレイ,超音波振動子,圧電

要約(日本語): 超音波トランスデューサアレイによる送信音圧の改善および超音波ビームの形成を目指し、エピタキシャルPZT/SrRuO3(SRO)/Pt/γ-Al2O3/Si構造を用いたアニュラーアレイを製作し有限要素解析結果との比較検討を行った。製作したアレイにより、超音波ビームが形成され送信音圧の向上および指向性が発生することが確認できた。これらの結果は、有限要素解析とのよい一致を見せ、pMUTアレイの設計が解析をベースに行えることがわかった。

要約(英語): We have proposed piezoelectric micromachined ultrasonic transducers (pMUTs) annular array using ?-Al2O3 thin films as an epitaxial buffer layer on Si substrates for obtaining epitaxial Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) thin films. Ultrasonic pressure and -6dB beamwidth at 5 mm of the 4 channel pMUT array were exhibited 10 times larger and sharper than the single pMUT. These experimental results good agree with analysis results. It will be applied to design miniature 2-D pMUTs array ultrasonic probe.

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