薄膜Si上に形成したMEMS可変メタマテリアルにおけるフレームの影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm3-PS104

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

著者名: 磯崎 瑛宏(東京大学),菅 哲朗(東京大学),高橋 英俊(東京大学),松本 潔(東京大学),下山 勲(東京大学)

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