静電型 MEMS 振動発電素子の実振動発電量シミュレーション

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm3-PS108

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

著者名: 斉藤 北斗(静岡大学),橋口原(静岡大学)

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