マイクロ流体デバイスの熱解析のための白金マイクロヒーターの電気特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm3-PS012

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Electrical property of platinum electrode for thermal analysis of microfluidic device

著者名: 上野 遼平(東京大学),イエスィルコイ フィリス(EPFL),ブルガー ユルゲン(EPFL),金 範埈(東京大学)

キーワード: マイクロ流体デバイス,マイクロヒーター,有限要素法,熱解析,ジュール加熱

要約(日本語): 本論文ではマイクロヒーターを集積化したマイクロ流体デバイスの温度測定及び熱解析に関して発表する。熱解析は有限要素法を用いて行われた。金属の電気特性がバルクと薄膜で大きく異なるため、マイクロヒーターの電気特性は熱解析に先立って校正された。電気特性の校正により熱解析結果と実験データはよく一致した。

要約(英語): This paper shows thermal measurement and analysis of a microfluidic device integrated with local heater. Thermal analysis was calculated by finite element modeling. Electrical property of the micro heater was calibrated in advance of the thermal analysis due to the difference from the bulk property of Pt. The thermal analysis results agreed well with experimental results.

PDFファイルサイズ: 1,891 Kバイト