DRIE技術により作製したチタン製微小手術針の機械的特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm3-PS002

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Mechanical Characterization of Titanium Microneedles Fabricated by DRIE for Microsurgery

著者名: 南 佑人(新潟大学),山田 周史(新潟大学),寒川 雅之(新潟大学),安部 隆(新潟大学)

キーワード: DRIE,微小針,チタン,マイクロサージャリー,MEMS加工

要約(日本語): 本研究では，DRIE技術を用いて作製したチタン製微小手術針の評価実験について報告する．DRIEで作製したチタン製微小針をシリコーンゴムに穿刺し，チタン製針の機械的特性について検討した．その結果，穿刺力は微小針の幅および厚さを小さくするにつれて低減することと，穿刺角度が小さい場合でも折損しないことを確認できた。

要約(英語): In this paper, a mechanical characterization of titanium microneedles for microsurgery using deep reactive ion etching has been reported. The model of microneedle for microsurgery was fabricated by DRIE and characterized by puncture test to the silicone rubber. As a result, it is confirmed that the puncture force is reduced with decreasing the width and thickness of the microneedle, and that the needle is not broken even if the puncture angle becomes lower.

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