エバネッセントモードRF－MEMSフィルタの有限要素解析

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm3-PS020

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Finite-element Analysis of Evanescent-Mode RF-MEMS Filter

著者名: 橋口 真宜(計測エンジニアリングシステム)

キーワード: エバネッセントRF-MEMS,マルチフィジックス有限要素解析,空洞共振器

PDFファイルサイズ: 1,427 Kバイト