Fabrication and evaluation of single-crystal-silicon tunable grating using polymer-based membrane transfer bonding process

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm3-PS026

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Fabrication and evaluation of single-crystal-silicon tunable grating using polymer-based membrane transfer bonding process

著者名: シェンロージ サワスディウォン(東北大学),大沼 永幸(東北学院大学),鈴木 智大(東北大学),佐々木 敬(東北大学),羽根 一博(東北大学),松浦 寛 (東北学院大学)

キーワード: Micro-electro-mechanical systems (MEMS),Wavelength Selective Switch (WSS),Grating,Mono-crystalline Silicon,Polymer membrane transfer bonding

要約(英語): The fabricated tunable grating is tunable by applying different voltage level. The silicon grating was successfully bonded to electrode matrix using polymer-based membrane transfer process. 2 different types of polymers were used to construct freestanding grating supporting structure. Under this bonding condition, bonding silicon grating to LSI circuits is practical.

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