A new TEM liquid cell with integrated MEMS\nmicrofluidic valve

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm3-PS028

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): A New TEM Liquid Cell with Integrated Microfluidic Valve

著者名: ヴァレ ゴッドフォア(東京大学),ジャラベール ロラン(東京大学),久米村 百子(東京大学),高山 由貴(東京大学),佐藤 隆昭(東京大学),藤田 博之(東京大学)

キーワード: TEM,Liquid cell,Valve,MEMS,Microfluidics

要約(英語): We present for the first time an active LDEP valve for mixing two di?erent liquids inside a TEM liquid-cell. The clear advantages of our device are low cost, versatility in the design and functionality (valve, heater, sensor, etc) for future developments. Such a new device aims at observing bio-chemical reactions.

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