可動マイクロ凹凸デバイスの形成と動的な濡れ特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm3-PS032

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Fabrication of deformable micro-pillar-array device and dynamic wettability characterization

著者名: 峯田 貴(山形大学),小林 翔太(山形大学),小林 誠也(山形県工業技術センター)

キーワード: 可動マイクロ凹凸構造,濡れ性可変,PDMSダイアフラム

要約(日本語): PDMSダイアフラムをもつ可動マイクロ凹凸デバイスを作製し，表面の凹凸状態を切り替えた際に，液滴の接触角が約115°~104°の間で可逆的に変化することを実証した。接触面は動かず液滴の形状が変化することがわかり，また，凹凸化の際に短時間で内部へ空気が出入りしている可能性が判明した。液滴の滴下条件によっては，凹部内が濡れたままの状態に相当する約107°から103°の間で接触角が可逆的に変化する場合があることもわかった。

要約(英語): Deformable micro-pillar-array device with dry-etched Si micro-structure and PDMS diaphragm (1μm thick) was fabricated and characterized for dynamic wettability control. Reversible contact angle change from 104o to 114o was obtained by switching of the diaphragm surface from flat to rough. This suggests that air rapidly intruded in the concave spaces between the pillars.

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