静電容量型振動子を用いたPMMAの疲労試験

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm3-PS006

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Fatigue life measurement of micro-PMMA by electrostatically-driven resonator

著者名: 柴田 駿(立命館大学),天谷 諭(TOWA),杉山 進(立命館大学),安藤 妙子(立命館大学)

キーワード: ポリマーMEMS,PMMA,疲労試験,ホットエンボス

要約(日本語): 本研究ではポリマーMEMSに用いるポリマー材の疲労特性を評価することを目的に、試験片部とアクチュエータ部を持つ静電容量型MEMS疲労試験デバイスを作製した。アクチュエータ部を共振状態で振動させることにより、応力集中を試験片部に発生させ、PMMA材料の疲労試験を行った。

要約(英語): Polymer MEMS have some advantages in material characteristics such as flexibility, transparency, and biocompatibility in comparison with conventional silicon MEMS. This paper presents a fatigue testing method of polymer microstructure by using polymer MEMS device with comb-drive electrostatic actuator.

PDFファイルサイズ: 1,572 Kバイト