シリカ凝集体エレクトレットを用いた薄型加速度センサの製作と特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm3-PS062

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Fabrication and evaluation of thin type acceleration sensor using silica agglomerates electrets

著者名: 櫻田 健(埼玉大学),蔭山 健介(埼玉大学)

キーワード: シリカ凝集体,エレクトレット,加速度センサ,フッ素樹脂フィルム,フレキシブルセンサ

要約(日本語): シリカ凝集体エレクトレットを用いてFilmECSを製作し，加速度センサとしての特性評価および耐熱性評価を行った。製作したFilmECSはいずれも0.1~10kHzの平均感度は市販加速度センサより高かった。電極に10μmのAlフィルムを用いたFilmECSは柔軟に変形することができ，シリカ凝集体の塗布によって感度が向上した。またシリカ凝集体エレクトレットを用いたFilmECSは180℃の加熱による感度低下を抑制できた。

要約(英語): FilmECSs using silica-agglomerate electret were investigated their performance as an acceleration sensor. FilmECSs demonstrated the higher sensitivity than the conventional acceleration sensor. The degradation of the sensitivity due to a repeated mount/dismount operation for the FilmECSs with 10 ?m of thickness was lower than that with 100?m. The heating test at 180 ?C showed the heat resistance of the FilmECSs was enhanced by using silica-agglomerate electret.

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