2D Asymmetric Silicon Micro-Mirrors for Ranging Measurements

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm3-PS064

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): 2D Asymmetric Silicon Micro Mirrors for ranging measurement

著者名: 伊東 隆喜(和歌山県工業技術センター),栗山 敏秀(近畿大学),中家 利幸(阪和電子工業),松井 順(阪和電子工業),宮本 佳明(阪和電子工業)

キーワード: 非対称性シリコンマイクロミラー,距離測定,SOI-MEMS,真空封止,静電気可視化

要約(日本語): 我々は距離測定のための2次元非対称シリコンマイクロミラーを開発した。作製はSOI-MEMSプロセスで行った。開発した2次元非対称シリコンマイクロミラーは真空封止を行い、共振モードで低速軸23.3 Hz、高速軸556.8 Hzであった。設計にあたりモーダル解析と動的解析から絶対変位を計算し実験値とほぼ一致した。開発した2次元非対称シリコンマイクロミラーを用いて静電気の可視化計測を行った。

要約(英語): We developed the silicon micro mirrors with two asymmetric axes for ranging measurement by using of single external piezoelectric ceramic vibrating element.　We obtained the resonant frequency in the low-speed axis of 23.3 Hz and in high-speed axis of 556.8 Hz.We measured the electrostatic field distribution measured using the 2D asymmetric silicon micro-mirrors.

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