積層ピエゾ素子を用いた加速度センサーの特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm3-PS066

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Characterization of the acceleration sensor using the laminated piezoelectric element

著者名: 藤本 滋(東京都市大学),坂倉 宏治(東京都市大学),一木 正聡(産業技術総合研究所),北原 時雄(日本軸受協会)

キーワード: 積層圧電素子,圧電素子,PZT素子,圧電型加速度センサー,加速度センサー

要約(日本語): アンプフリーの加速度センサーの開発を目的として，先端に錘が取り付けられた積層ピエゾ素子の振動加速度入力に対する電圧出力特性の評価を行った。振動実験により、積層ピエゾ素子の積層数、先端の錘質量および計測回路中の負荷抵抗が積層ピエゾ素子の振動加速度入力に対する電圧感度および周波数特性に及ぼす影響が明らかにされた．

要約(英語): The purpose of this study is to develop an amplifier free accelerometer using a laminated piezoelectric element (PZT). The effects of load resistance in measuring circuit, number of layers of PZT elements and the weight mass attached to the PZT sensor on output voltage of the laminated piezoelectric element are evaluated by vibration power generation tests.

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