ポリエチレンテレフタレート(PET)をターゲットとして成膜したスパッタ薄膜の酢酸およびアンモニアガスの吸着特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm3-PS074

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Adsorption properties of a sputtered thin film prepared by a poly(ethylene terephthalate) (PET) target for acetic acid and ammonia gases

著者名: 大西 康貴(東海大学),福嶋 貫(東海大学),野田 和俊(産業技術総合研究所),岩森 暁(東海大学)

キーワード: 揮発性有機化合物,水晶振動子,高周波スパッタリング,ポリエチレンテレフタレート

要約(日本語): 酸・アルカリガスの検知を目的として、化学物質ガス検出の有効な手法のひとつである水晶振動子微小天秤 (QCM) 法を利用した。高周波スパッタリングにより水晶振動子上に形成する薄膜として、酸・アルカリに対する安定性に乏しいポリエチレンテレフタレート (PET) を選定した。水晶振動子上のPET薄膜の酸・アルカリガスに対する吸着特性について検討した。

要約(英語): Organic thin films were deposited onto a quartz crystal by an RF sputtering with poly(ethylene terephthalate) (PET) targets (sputtered PET film), and we evaluated adsorption properties for the acetic acid and ammonia using quartz crystal microbalance (QCM) method.

PDFファイルサイズ: 1,131 Kバイト