不純物添加シリコンのインゴット内部における機械特性ばらつき評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm3-PS008

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Variability of mechanical properties in silicon ingot with B and Ge codoping

著者名: 安藤 妙子(立命館大学),中村 幸介(立命館大学),小野 弘史(立命館大学)

キーワード: シリコン,不純物添加,ヤング率,曲げ強度,破壊靱性

要約(日本語): 本研究では，BとGeをドープした2種類のインゴット（BGe-1とBGe-2）を用意し，インゴットの高さの異なる３カ所からそれぞれcenterとedgeを測定した．３点曲げ試験で測定したヤング率に大きな違いは見られなかった．一方で破壊強度はBGe-1とBGe-2で平均値はほぼ同等の値であったが，ばらつきはBGe-2が大きく，とくにedgeにおいてその傾向が強く表れた．破壊靱性値は，Geの添加により値は上昇した．

要約(英語): Variability of mechanical properties such as Young’s modulus, fracture strength, and fracture toughness in boron and germanium codoped silicon ingot was evaluated by using 3-point bending test and IF (Indentation Fracture) method. In this study samples were prepared from three different site of ingot and two different position of wafer.

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