無給電・ワイヤレスSAWマルチセンサの実現に向けた反射器のセンサ化に関する検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm3-PS080

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Study of Sensitive reflector for Wireless SAW Multi-Sensor

著者名: 齋藤 敦史(芝浦工業大学)

キーワード: 弾性表面波,湿度センサ,反射型遅延線,反射器のセンサ化,温度センサ

要約(日本語): 無給電ワイヤレス駆動可能なSAWマルチセンサに向けたセンサ機能の実現方法について検討した．センサ機能は反射器に感応膜を装荷することで実現した．実際に感湿膜を反射器に装荷して湿度センサを作製し，その応答を確認した．また，同一基板の基板端面からの反射波を用いて温度センサ機能も実現し，その応答を確認した．

要約(英語): The method to fabricate sensor element on surface acoustic wave (SAW) devices, especially for wireless passive SAW sensor is proposed in this report. Sensor element was composed SAW grating reflector and sensing film on it. A relative humidity sensor element and a temperature sensor using reflection from edge of a device were realized and integrated on a SAW delay-line device.

PDFファイルサイズ: 1,163 Kバイト