NFTSナノクラック薄膜を用いた静電容量形水分センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 22pm1-A3

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Moisture sensor with nanocracked thin film using new facing targets sputtering

著者名: 深川 雄貴(名古屋大学),吉井 雄佑(東京工業大学),向井 伸幸(ナブテスコ),溝口 尚志(ナブテスコ),高橋 勉(ナブテスコ),秦 誠一(名古屋大学)

キーワード: 水分センサ,ナノクラック薄膜,新対向ターゲット式スパッタ法,コンデンサ,フィルタ

要約(日本語): 潤滑油中の水分量をモニタリングするセンサを作製した．センサはコンデンサ構造をしており，誘電体の吸湿・排出による静電容量の変化を検出し，水分量をモニタリングする．誘電体への水分子の侵入・排出を円滑にするため，上部電極膜を高スパッタガス圧下での，斜入射スパッタにより成膜し，ナノクラック膜とした．油中評価の前段階として，大気中において，センサの特性を調査した．

要約(英語): Moisture sensor was fabricated. The sensor has condenser structure. Dielectric absorbs water molecule, and dielectric constant varies with this absorbing. It is possible to monitor amount of moisture by sensing change of capacitance. Upper electrode was prepared by diagonal incidence sputtering in high sputtering gas pressure to generate nanocracks. Evaluation of the sensor was conducted in the air.

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