Assembled comb-drive XYZ-microstage integrated with capacitive displacement sensor for low temperature measurement systems

カテゴリ: 部門大会

論文No: 22pm1-A4

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Assembled comb-drive XYZ-microstage integrated with capacitive displacement sensor for low temperature measurement systems

著者名: 薛 高鵬(東北大学),戸田 雅也(東北大学),小野 崇人(東北大学)

キーワード: MRFM,Cryogenic measurement,Comb-drive actuator,Capacitive displacement sensor,Assembling

要約(英語): This paper reports the novel design of a comb-drive XYZ-microstage integrated with a capacitive displacement sensor for the scanner of magnetic resonance force microscopy (MRFM) at cryogenic temperature.

PDFファイルサイズ: 1,276 Kバイト