熱駆動型金属ナノスリットを用いたマイクロ光学位相変調器

カテゴリ: 部門大会

論文No: 22pm1-A5

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Micro phase modulator based on thermally-driven metal nanoslits

著者名: 志村 崇(東京農工大学),石井 美帆(東京農工大学),岩見 健太郎(東京農工大学),梅田 倫弘(東京農工大学)

キーワード: 位相変調,メタサーフェス,ナノスリット,表面プラズモン,熱アクチュエータ

要約(日本語): 巨大複屈折が得られるプラズモニック金属ナノスリット構造と，熱バイモルフアクチュエータを組み合わせたマイクロ光学位相変調器について報告する．AuとSiO2のバイモルフ梁で構成されたスリット構造を，通電加熱によって熱変形させることで光学位相を変調するデバイスを設計した．電子ビーム直接描画を利用した一括加工で試作を行い，熱による駆動及び光学測定を行った．製作したデバイスにより，複屈折が最大で±2°変化した．

要約(英語): A micro optical phase modulator based on thermally-driven metal nanoslits is reported. A subwavelength grating is adopted as a phase modulator because of giant birefringence caused in grating slit. In this research, the grating is consisted of Au/SiO2 bimorph beams and actuated by Joule heating. The micro phase modulator is designed, fabricated, and its motion and phase modulation was demonstrated. Using the fabricated device, the birefringence is changed up to ±2°.

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