無線センサネットワーク端末のための微小圧力変化検出スイッチ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 22pm1-B4

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): A pressure change detection switch for wireless sensor network node

著者名: 海法 克享(NMEMS技術研究機構),高橋 英俊(東京大学),富松 大(セイコーインスツル),小林 健(産業技術総合研究所),松本 潔(東京大学),下山 勲(東京大学),伊藤 寿浩(NMEMS技術研究機構),前田 龍太郎(NMEMS技術研究機構)

キーワード: センサネットワーク,塵埃量センサ,圧力変化トリガー,AlN,薄膜カンチレバー

要約(日本語): 無線センサネットワークの課題である端末の省電力化を実現するために、必要な時にだけ端末を動作させることは有効な方法である。本発表では、圧力変化を検出するトリガースイッチを開発し、本スイッチを付加したイベントドリブン型塵埃量センサの動作確認を行った。センサの平均消費電力は100μW程度であり、本センサを用いることで無線センサネットワークシステムによる塵埃量のモニタリングが実現可能になることを示した。

要約(英語): This paper reports a trigger switch which detects barometric pressure change, for wireless sensor network node. The fabricated trigger switch was able to detect air pressure change of approximately 10 Pa. Then, we demonstrated that the dust sensor was able to be activated by the trigger. The average power consumption of fabricated dust sensor is approximately 100 μW.

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