PTFEを用いたマイクロ化学チップのための微細構造技術

カテゴリ: 部門大会

論文No: 24am2-A-4

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Study on microfabrication of polytetrafluoroethyle for a microfluidic chip using pyrochemical anisotropic etching

著者名: 山口 明啓(兵庫県立大学),木戸 秀樹(兵庫県立大学),竹内 雅耶(兵庫県立大学),内海 裕一(兵庫県立大学)

キーワード: 放射光,ポリテトラフルオロエチレン,マイクロ化学チップ,X線加工,熱化学異方性エッチング

要約(日本語): ポリテトラフルオロエチレンは、耐熱性、耐薬品性に優れた材料であるが、微細加工が難しい。この問題を解決する手法として、放射光による直接エッチングがよく知られている。しかし、放射光直接エッチング法を用いても大面積で微細加工を行うことは難しい。今回の研究では、熱エッチング法を開発し、大面積での微細加工を行った結果について報告する。

要約(英語): The study on microfabrication of polytetrafluoethylene (PTFE) for microfluidic chip was performed by the development of novel pyrochemical anisotropic etching process. We found he scission of PTFE main polymer chain induced by X-ray irradiation enabled pyrochemical etching because of decreasing the desorption temperature. Here, we can minimize the distortion of fabricated PTFE fine pattern in a large area using the novel finding process.

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