パルスDCスパッタリング法によるセンシングデバイス向けVO2薄膜の形成

カテゴリ: 部門大会

論文No: 24am2-B-1

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): VO2 Thin Film Prepared by Pulsed-DC Sputtering for Sensing Devices

著者名: 木村 勲(アルバック),鄒 弘綱(アルバック),小林 宏樹(アルバック),露木 達郎(アルバック),鈴木 亮由(アルバック),神保 武人(アルバック)

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