MEMS材料としてのSiGe薄膜の物性評価と加速度センサへの応用

カテゴリ: 部門大会

論文No: 24am2-B-3

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Evaluation of SiGe thin films as MEMS material and application to accelerometers

著者名: 廣田 朝地(兵庫県立大学),横松 得滋(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中 一介(兵庫県立大学)

PDFファイルサイズ: 582 Kバイト