反応性スパッタ法によるTiO2薄膜を用いたバイオケミカルデバイス用機能表面の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 24am2-B-5

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Functional surface for biochemical devices using TiO2 thin films grown by reactive sputtering process

著者名: 小林 大造(立命館大学),小西 聡(立命館大学)

キーワード: 酸化チタン,光酸化反応,反応性スパッタ,結晶学的構造

要約(日本語): TiO2薄膜は強い光酸化力やイオン感応性を有しておりバイオケミカルデバイスのための機能表面への応用が研究されている。具体的には光酸化によるバクテリア殺菌反応および水分解反応のマイクロリアクターへの応用やイオン吸着による表面電位変化を利用したpHセンサが報告されている。本研究では、反応性スパッタ法によりTiO2薄膜の結晶構造制御を試み、その光酸化力について比較考察した。

要約(英語): In this paper, the photo-oxidation activities of titanium dioxide (TiO2) photocatalyst with rutile and anatase crystallographic structures were compared by photo-bleaching test on methylene blue aqueous solution. The catalytic activity and wettability change of TiO2 thin films with and without UV irradiation will be discussed in connection with crystallographic structures.

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