片面励起型無線発振式QCMの周波数安定性の電極径、結晶方向依存性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 24am2-B-6

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Dependence of the electrode diameter, crystal orientaion on frequency stability of a wireless-QCM sensor using ACR-type resonator.

著者名: 坂口 淳(新潟大学),寒川 雅之(新潟大学),安部 隆(新潟大学)

キーワード: 水晶振動子微小天秤,無線,電極径,結晶方向,片面励起

要約(日本語): 本研究では、片面励起型の無線発振式QCMの周波数安定性の電極径、結晶方向の依存性について報告する。電極直径と水晶板の向きを変化させることでQCMの位置による振動特性の影響を評価した。我々は、安定して発振が可能な電極径、結晶方向を見出した。また、本センサは質量検出が可能であり、質量検出の結果に線形性があることがわかった。提案したセンサはパッケージングに適しており、流路型のセンサとしての使用が期待される。

要約(英語): This study reports a wireless-QCM using anti-parallel coupled resonator. We evaluated the influence of the position on the vibrational properties of the QCM by changing the size of the diameter and the orientation of the crystal. We found out the appropriate electrode diameters and crystal direction for the stable oscillation. In addition, the frequency responses to added mass show a linear correlation.

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