ピエゾ抵抗熱機関を利用した静電駆動型振動子

カテゴリ: 部門大会

論文No: 24am2-D-2

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Capacitive Silicon Resonator with Thermoelectrical Actuators

著者名: Nguyen Van Nha(東北大学),Nguyen Van Toan(東北大学),小野 崇人(東北大学)

キーワード: 容量静電駆動型シリコン振動子,ピエゾ抵抗熱エンジン,熱アクチュエーター

要約(日本語): 本研究ではピエゾ抵抗熱エンジンを利用した静電容量型振動子を提案した．実験において周波数3.16MHz付近において複数の共振ピークを持つ振動モードを確認した．振動子本体に電流値の7mAを印加する時の挿入損失は電流を印加していない時（Ia=0 mA）より10dB程度減少し，動作抵抗が10.8kΩ減少したことが確認した.

要約(英語): This paper reports on the design, fabrication and evaluation of a capacitive silicon resonator with piezoresistive heat engines.The resonant frequency of the fabricated device is 3.166 MHz, and the quality factor (Q) is approximately 3,000. With 7 mA bias current, electrical characterization of the capacitive silicon resonator with the piezoresitive heat engine provides a 10 dB enhancement over the capacitive silicon resonator without the power to the piezoresitive heat engine.

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