1.6 ?m - 1.7 ?m複合型MEMS波長可変VCSELの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 24am2-D-5

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): 1.6 ?m to 1.7 ?m micromachined tunable VCSELs

著者名: 北川 雄真(横河電機),鈴木 雄太(横河電機),猿谷 敏之(横河電機),手塚 賢太郎(横河電機),西山 伸彦(東京工業大学)

キーワード: VCSEL,異種材料接合,波長可変レーザー,光マイクロマシン,近赤外分光

要約(日本語): 今回我々は1.6 - 1.7 um帯において中心波長が異なる2種類のSi-MEMS波長可変VCSEL(MEMS-VCSEL)を初めて開発した。共振器は波長掃引を行う可動反射膜をもつMEMSチップとInP系半VCSELチップから構成される。本MEMS-VCSELは可変波長帯域約60 nm、出力パワー0.2 mW以上、サイドモード抑圧比50 dB以上を達成し、ガス分析などの応用に十分な性能を示した。

要約(英語): For the first time we demonstrate two types of MEMS-tunable VCSELs operating from 1.6 um to 1.7 um for spectroscopic analyzer. Our MEMS VCSELs show wide tuning range of approximately 60 nm, the output power of >0.2 mW, and the sidemode suppression ratio of >50 dB over the whole range.

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