ドライ転写技術による自立単層グラフェン構造の製作

カテゴリ: 部門大会

論文No: 24pm2-B-1

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Fabrication of freestanding single layer graphene structure by dry transfer technique

著者名: 石田 隼斗(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学),高橋 一浩(豊橋技術科学大学)

キーワード: グラフェン,ドライ転写,NEMS

要約(日本語): グラフェンは、優れた機械的・電気的特性をもつことから、高周波スイッチや共振型センサなどのNEMS（Nano Electro Mechanical Systems：微小電気機械システム）デバイスへの応用が期待されている。本研究では、NEMSデバイス応用に向けた簡易的なドライ転写技術を提案し、単層自立グラフェンによるドラム構造の製作を行った。ラマン測定結果からも、高品質な単層自立グラフェンであることが示された。

要約(英語): Graphene is an attractive material for Nano Electro Mechanical Systems (NEMS) devices such as radio frequency devices and resonant sensors due to excellent electromechanical properties. In this work, we developed a simple dry transfer technique and succeeded fabrication of freestanding graphene drum structure. Raman spectrum indicated that the high-quality single layer graphene was achieved.

PDFファイルサイズ: 640 Kバイト