Sputtering Epitaxy of Highly c-Axis Oriented PMnN-PZT Thin Film on SrRuO3/Pt/Ir/YSZ/Si for Piezoelectric MEMS Sensors

カテゴリ: 部門大会

論文No: 24pm2-B-3

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Sputtering Epitaxy of Highly c-Axis Oriented PMnN-PZT Thin Film on SrRuO3/Pt/Ir/YSZ/Si for Piezoelectric MEMS Sensors

著者名: Pham Ngoc Thao(Tohoku University),Shinya Yoshida(Tohoku University),Shuji Tanaka(Tohoku University)

PDFファイルサイズ: 808 Kバイト