低表面エネルギー材料をモールドとした離形処理フリーナノインプリント法

カテゴリ: 部門大会

論文No: 24pm2-B-4

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Release Agent-Free Nanoimprint Method with Mold Made of Low Surface Energy Material

著者名: 橋本 優生(東京工業大学),茂木 克雄(東京工業大学),山本 貴富喜(東京工業大学)

キーワード: ナノ・マイクロ加工,ナノインプリント,ポリジメチルシロキサン,環状オレフィンポリマー,離形処理フリー

要約(日本語): 表面エネルギーが低い材料であるポリジメチルシロキサンと環状オレフィンポリマーをモールドとした離形処理が不要な新たなナノインプリント法を提案し，本手法を用いたナノ構造の試作を行った。その結果，両モールドを用いたナノインプリントプロセスでの微細構造の作製に成功した。これらの結果により，モールドのコストの問題と離形処理の問題が解決でき，ナノインプリントプロセスのさらなる低コスト化につながると考えている。

要約(英語): We proposed a novel imprinting method using two materials with low surface energy, such as polydimethylsiloxane and cyclic olefin polymer, which does not require the release agent during the process. As a result, we successfully demonstrated to fabricate nanoscale patterns to a glass substrate using the both molds. These results would lead to easier and lower-cost mass nanoscale fabrication process toward various industrial applications.

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