多孔質アルミナ製Cs生成源を使ったCSAC用MEMS型ガスセルの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 24pm2-B-5

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Cs vapor cells fabricated with an alkali-metal source tablet for CSAC

著者名: 寺島 健太(京都大学),平井 義和(京都大学),土屋 智由(京都大学),田畑 修(京都大学)

キーワード: チップスケール原子時計,アルカリ金属ガスセル,アルカリ金属アジ化物,シーケンシャルプラズマ接合

要約(日本語): チップスケール原子時計（CSAC）の構成要素の1つであるMEMS型ガスセルの新しいウェハレベル加工法として，多孔質アルミナにCsN3を析出したCs生成源（AMST）を用いた手法を開発した。AMSTは多孔質アルミナの細孔構造を活用することで，従来のガスセル作製方法よりも低温かつ効率的にCsをガスセルに封入できる。CPT共鳴の観測と短期安定度の評価の結果，AMSTで作製したガスセルはCSACに必要な基本性能を有していることを確認した。

要約(英語): This paper reports a fabrication of Cs vapor cells by utilizing an alkali-metal source tablet (AMST) as an alkali-metal dispenser for chip-scale atomic clock. The AMST enabled to produce pure Cs by low-temperature thermal decomposition and fill Cs into MEMS cells with wafer-level fabrication. The frequency stability of this Cs vapor cell was measured to be 2×10^－11 at 1 sec integration time.

PDFファイルサイズ: 887 Kバイト