PZT薄膜/樹脂積層構造による圧電MEMSハプティックデバイス

カテゴリ: 部門大会

論文No: 24pm2-C-2

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Haptic Device Based on Piezoelectric MEMS by Using PZT/Polymer Integration

著者名: 大久保 昂(兵庫県立大学),嶋 真弥(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中 一介(兵庫県立大学)

PDFファイルサイズ: 715 Kバイト